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臭氧对机械设备有影响。
臭氧具有很强的氧化性,臭氧可以氧化很多金属,铝、锌、铅与臭氧接触会产生氧化腐蚀,但含25%Cr的铬铁合金(不锈钢)基本上不会受臭氧腐蚀。
臭氧对非金属材料也具有腐蚀作用,臭氧对普通橡胶腐蚀作用最大,所以在应用中应使用耐腐蚀的硅橡胶或添加耐腐剂的橡胶制品
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