真空镀膜可以镀以下多种材料。
1、氧化物
一氧化硅SiO、二氧化硅SiO2、二氧化钛TiO2、二氧化锆ZrO2、二氧化铪HfO2、一氧化钛TiO、五氧化三钛Ti3O5、五氧化二铌Nb2O5、五氧化二钽Ta2O5、氧化钇Y2O3、氧化锌ZnO等高纯氧化物镀膜材料。
2、氟化物
氟化钕NbF3、氟化钡BaF2、氟化铈CeF3、氟化镁MgF2、氟化镧LaF3、氟化钇YF3、氟化镱YbF3、氟化铒ErF3等高纯氟化物。
3、其它化合物
硫化锌ZnS、硒化锌ZnSe、氮化钛TiN、碳化硅SiC、钛酸镧LaTiO3、钛酸钡BaTiO3、钛酸锶SrTiO3、钛酸镨PrTiO3、硫化镉CdS等真空镀膜材料。
4、金属镀膜材料
高纯铝Al、高纯铜Cu、高纯钛Ti、高纯硅Si、高纯金Au、高纯银Ag、高纯铟In、高纯镁Mg、高纯锌Zn、高纯铂Pt、高纯锗Ge、高纯镍Ni、高纯金Au、金锗合金AuGe、金镍合金AuNi、镍铬合金NiCr、钛铝合金TiAl、铜铟镓合金CuInGa、铜铟镓硒合金CuInGaSe、锌铝合金ZnAl、铝硅合金AlSi等金属镀膜材料。
