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晶圆扩散工艺是干什么的

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晶圆扩散工艺是干什么的

晶圆扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂,即将元素磷、硼扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。

采用不同的掺杂工艺,通过扩散作用,将P型半导体与N型半导体制作在同一块半导体硅片上。半导体中的扩散属于三种输送现象(质量传输、热传递和动量传输)中的质量传输,需要在850℃以上的高温环境下,效应才够明显而据贺利氏披露,卧式炉的扩散、氧化和退火工序需要在高温环境下(>1150℃)也能保持温度稳定性能的特种石英材料。

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