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喷砂溅镀这样的工艺有毒吗

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喷砂溅镀这样的工艺有毒吗

喷砂溅镀这样的工艺没有毒

溅镀,通常指的是磁控溅镀,属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar),并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电,由于辉光放电(glow discharge)产生的电子激发惰性气体,产生等离子体,等离子体将金属靶材的原子轰出,沉积在塑胶基材上。

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