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薄膜真空規原理
薄膜真空規原理
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原理是一種絕壓、全壓測量的
真空
計,原理是把加於電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化,即產生了電容的變化,再透過鑑頻器把電容變化轉換成爲電流
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真空
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薄膜
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