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薄膜真空規原理

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薄膜真空規原理

原理是一種絕壓、全壓測量的真空計,原理是把加於電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化,即產生了電容的變化,再透過鑑頻器把電容變化轉換成爲電流

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