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什么叫光刻机

尚之范 人气:1.66W
什么叫光刻机

就是制造晶圆芯片的机器,其实速个机器就是一个系统,就是把经过切割的很薄的硅晶片,经过光刻机一道道的工序系统,把硅晶片再切割划分成很多个小区,然后用光刻机的光和热对小区进行一道道加工,使小区由绝缘转变成能够导电的导体,半导体和具有电阻性质的电阻,具有电容性质的电容。这就是光刻机。

究竟什么是光刻机呢,它主要做什么

我们来看,光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术,它又叫掩模对准曝光机,光刻系统等,用光来制作一个图形工艺,将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程,它主要的光刻工艺经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

换句话说,光刻机其实就是制造芯片的机器,比如现在的手机电脑都有芯片,如果没有光刻机,那么就造不出电脑和手机了。

目前,在全世界范围内,有能力生产光刻机的企业只有寥寥可数的几家,能自主研发生产芯片的光刻机企业也就日本的佳能、尼康和荷兰的ASML公司,即便是科技最发达的美国,目前也不能独自完整生产出光刻机,只能参与控股ASML。

目前全世界最顶级的光刻机是荷兰ASML公司生产制造,佳能和尼康只能生产相对低一点的光刻机,甚至目前佳能、尼康已经在逐步淡出市场。在技术方面,ASML目前领先全球,光刻机可以使用波长为13.5纳米的极紫外光(EUV),实现14纳米、10纳米、和7纳米制程的芯片生产,而通过技术升级,也可以实现9纳米,8纳米,6纳米,5纳米,4纳米乃至3纳米等制程的芯片生产。

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