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薄膜真空规原理
薄膜真空规原理
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原理是一种绝压、全压测量的
真空
计,原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化,即产生了电容的变化,再通过鉴频器把电容变化转换成为电流
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真空
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薄膜
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