埃安真空泵故障

1. 检测真空泵的方法：将真空泵与其管道分离，用真空计直接测量真空泵进气口，如果泵真空度达到使用标准就排除了泵漏气的可能

2.检测管道的方法：把管道或管道某一段取下，将其中一头接在不漏气的泵上，另一头用真空计测量，通过这个方法检测能够分清漏气点。