6英寸碳化硅衬底国内有一家生产。2022年9月9日，合肥世纪金芯半导体有限公司，年产3万片6英寸碳化硅单晶衬底项目，投产仪式在合肥市高新区集成电路产业园隆重举行，该项目的顺利投产，标志着公司产业链源头自主可控能力升级，公司产业化进程迈入新篇章。
6英寸碳化硅衬底国内有8家生产
1、IIVI
2、露笑科技
3、Soitec
4、山东天岳
5、天科合达
6、Rohm（SiCrystal）
7、ST (Norstel)
8、SK Siltron
有2家生产。分别是万华化学制造公司和齐心机械集团有限公司，他们都是能够生产六英寸碳化硅衬底的，能够让这个衬底符合国际标准的。
